試塊法-超聲波檢測缺陷定量1

       缺陷定量包括確定缺陷的大小和數(shù)量， 而缺陷的大小指缺陷的面積和長度。一般超聲波缺陷定量可以分為小于晶片直徑的缺陷定量和大于晶片直徑的缺陷定量。

      ①小于晶片直徑的缺陷定量包括等效試塊直接比較法（試塊法）、當(dāng)量計(jì)算法（計(jì)算法）、AVG曲線法和底波高度百分比法。

      ②大于晶片直徑的缺陷定量包括相對(duì)靈敏度測量方法（測長法），絕_對(duì)靈敏度測量方法，極坐標(biāo)作圖方法，包絡(luò)作圖方法（超聲C掃描）和標(biāo)準(zhǔn)圖形參考比較方法（超聲C掃描）。

       各種均有一定的局限性，除了傳統(tǒng)的缺陷定量方法之外，精_確的缺陷定量還使用聚焦探針和各種聲學(xué)成像裝置等。

1.試塊法

         將工件中的自然缺陷回波與試塊上的人工缺陷回波進(jìn)行比擬來對(duì)缺陷定量的方法。

         加工制作一系列含有不問聲程、不同尺寸的人工缺陷（如平底孔）試塊，檢測中發(fā)現(xiàn)缺陷時(shí)，將工件中自然缺陷回波與試塊上人工缺陷回波進(jìn)行比擬。當(dāng)同聲程處的自然缺陷回波與某人工缺陷回波高度相等時(shí)，該人工缺陷的尺寸就是此自然缺陷的當(dāng)量大小。

         利用試塊法對(duì)缺陷定量要盡魚使試塊與被探工件的材質(zhì)、外表光潔度和形狀一致，并且其他探測條件不變?nèi)鐑x器、探頭、靈敏度（增益）、超聲C掃描的水距、入射角度等。

         試塊法特點(diǎn)：試塊法是超聲波檢測中應(yīng)用較早的一種定量方法，其優(yōu)點(diǎn)是直觀易懂， 當(dāng)量概念明確， 定量穩(wěn)妥可靠。 但這種方法需要制作大量試塊，本錢高。 同時(shí)操作現(xiàn)場檢測要攜帶試塊，較不方便。 因此試塊法一般在特別重要零件的精_確定量時(shí)使用，如航空航天和一些高_(dá)端制造業(yè)中。尤其注意：由于在距離小于3倍探頭近場區(qū)（3N）的情況下，計(jì)算法不適用，因此在采用水浸C掃描聚焦探頭和探頭近場區(qū)內(nèi)的檢測中，一般采用試塊法檢測。常規(guī)各探頭近場區(qū)數(shù)據(jù)如下：N ≈ 直徑平方 / (4 * 波長) ，波長 = 聲速 / 探頭頻率。